大河半导体

Epoxy 固晶机

高速 Epoxy 银浆固晶机

D-MARS HS

产品线中的产能王者,UPH 达 15000,面向 12 寸及以下晶圆的传统 Epoxy 固晶,配备适用于不同引线框架的通用式工件台。

核心指标

15000UPH
产能
250ms
节拍时间
±20μm
精度 @3σ
12"
最大晶圆

产品优势

产品线最高产能

UPH 15000,节拍时间 250ms。

双点胶系统

高度灵活的双点胶系统,适应不同胶材需求。

高精度固晶焊头

高精度直线驱动固晶焊头,音圈扭力精确控制压力。

通用式工件台

适用于处理不同种类的引线框架,无需更换治具。

自动芯片搜寻与矫正

高精度搜寻芯片平台,自动芯片角度矫正系统,配备马达自动扩片系统。

真空漏晶检测

采用真空漏晶检测和重新拾取功能。

规格参数

机器性能
UPH15000
节拍时间250 ms
XY 放置精度±20μm @ 3sigma
旋转精度±0.2° @ 3sigma
材料处理能力
芯片尺寸0.4 – 18 mm
芯片厚度0.7 – 0.1 mm
晶圆工作台
晶圆尺寸max 12"
晶片最大角度修正±180°
键头系统
邦定力度30 – 3000 g (programmable)
机器尺寸和重量
尺寸2100×1450×1800 mm (L×W×H)
重量1900 kg

规格参数可能调整,如需最新版规格书请与我们联系。

应用案例

  • QFP
  • QFN
  • TTSOP
  • DIP

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